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22、脉冲激光沉积法(PLD)制备纳米薄膜

2008-03-12 12:57:00 来源:互联网 点击数:6851

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              <;p style="line-height: 250%; margin-top: 0; margin-bottom: 0">;项目名称<;/td>;
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              <;p style="line-height: 250%; margin-top: 0; margin-bottom: 0">;<;b>;脉冲激光沉积法(PLD)制备纳米薄膜<;/b>;<;/td>;
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              <;p style="line-height: 250%; margin-top: 0; margin-bottom: 0">;  项目介绍:随着激光器性能的不断提高,在众多的薄膜制备方法中,PLD技术的应用最为广泛,可用来制备金属、半导体、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各种物质薄膜,甚至还用来制备一些难以合成的材料膜,如金刚石、立方氮化物膜等,并取得了很大的成功。<;/p>;
              <;p style="line-height: 250%; margin-top: 0; margin-bottom: 0">;  工作原理: 在制膜腔内,用透镜将一束强脉冲激光汇聚成一个很小的光斑,打在靶材料上,受到激光光斑照射的靶材料瞬时被气化、电离,形成一团等离子体,高速向外喷射,从而在衬底上沉积形成一层薄膜。<;/p>; 
              <;p style="line-height: 250%; margin-top: 0; margin-bottom: 0">;  系统构成:<;/p>;
              <;p style="line-height: 250%; margin-top: 0; margin-bottom: 0">;  1.准分子激光器<;/p>;
              <;p style="line-height: 250%; margin-top: 0; margin-bottom: 0">;  2.PLD沉积系统<;/p>;
              <;p style="line-height: 250%; margin-top: 0; margin-bottom: 0" align="center">;<;img border="0" src="../zlyj/xiangmu22.gif">;<;/td>;
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